ohrev mocvd reaktora s indukciou
Reaktory s indukčným ohrevom Metalorganic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) sú technológiou zameranou na zlepšenie účinnosti ohrevu a zníženie škodlivého magnetického spojenia so vstupom plynu. Bežné reaktory MOCVD s indukčným ohrevom majú často indukčnú cievku umiestnenú mimo komory, čo môže viesť k menej účinnému ohrevu a potenciálnemu magnetickému rušeniu systému dodávky plynu. Nedávne… Čítaj viac